Since 2014
Impurity segregation during growth of silicon single crystals
Technology Audit and Production Reserves
View Archive Info| Field | Value | |
| Title |
Impurity segregation during growth of silicon single crystals
Распределение примесей в процессе выращивания монокристаллов кремния Розподіл домішок в процесі вирощування монокристалів кремнію |
|
| Creator |
Головко, Юрій Вікторович; Zaporozhye engineering academy
|
|
| Subject |
Silicon, impurity, effective segregation coefficient
УДК 621.315.592 Кремний, примесь, эффективный коэффициент распределения УДК 621.315.592 Кремній, домішка, ефективний коефіцієнт розподілу УДК 621.315.592 |
|
| Description |
In article on the basis of experimental researches and the developed mathematical models it is shown, that the size of effective segregation coefficient of carbon impurity decreases at accumulation of carbon in silicon melt during crystallization
В статье на основании экспериментальных исследований и разработанных математических моделей показано, что величина эффективного коэффициента распределения углерода уменьшается при накоплении примеси углерода в расплаве в процессе кристаллизации У статті на підставі експериментальних досліджень і розроблених математичних моделей показано, що величина ефективного коефіцієнта розподілу домішки вуглецю зменшується при нагромадженні вуглецю в розплаві в процесі кристалізації |
|
| Publisher |
Private company "Technology Center"
|
|
| Contributor |
—
— — |
|
| Date |
2012-09-06
|
|
| Type |
info:eu-repo/semantics/article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion — — — |
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Identifier |
http://journals.uran.ua/tarp/article/view/4734
10.15587/2312-8372.2012.4734 |
|
| Source |
Technology audit and production reserves; Vol 3, No 1(5) (2012): INTERNATIONAL SCIENTIFIC CONFERENCE. Fundamental research; 29-30
Технологический аудит и резервы производства; Vol 3, No 1(5) (2012): МЕЖДУНАРОДНАЯ НАУЧНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ. Фундаментальные исследования; 29-30 Технологічний аудит та резерви виробництва; Vol 3, No 1(5) (2012): МІЖНАРОДНА НАУКОВА КОНФЕРЕНЦІЯ. Фундаментальні дослідження; 29-30 2312-8372 2226-3780 |
|
| Language |
ukr
|
|
| Relation |
http://journals.uran.ua/tarp/article/view/4734/4385
|
|
| Rights |
Copyright (c) 2016 Юрій Вікторович Головко
Copyright (c) 2016 Технологічний аудит та резерви виробництва Copyright (c) 2016 Технологический аудит и резервы производства http://creativecommons.org/licenses/by/4.0 |
|