Since 2014
About the role of melt movement during of the silicon single crystal growth by FZ method
Technology Audit and Production Reserves
View Archive Info| Field | Value | |
| Title |
About the role of melt movement during of the silicon single crystal growth by FZ method
О роли движения расплава при выращивании монокристаллов кремния методом БЗП Про роль руху розплаву при вирощуванні монокристалів кремнію за методом БЗП |
|
| Creator |
Егоров, Сергей Геннадьевич; Zaporozhye state engineering academy
|
|
| Subject |
Floating-zone melting, melt movement
УДК 621.315 Бестигельная зонная плавка, движение расплава УДК 621.315 Безтигельна зонна плавка, рух розплаву УДК 621.315 |
|
| Description |
In work the conditions of occurrence of convection in the melted zone during growth of silicon single crystals by the floating zone melting method was investigate. It are fix, that streams in the melted zone (thermogravitational, centrifugal, thermocapillary and electrodynamic) influenced on distribution of impurity in the melt and, hence, defined quality of end production
В работе исследуются условия возникновения конвекции в расплавленной зоне при выращивании монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки. Установлено, что возникающие в расплавленной зоне течения (термогравитационные, центробежные, термокапиллярные и электродинамические) влияют на распределение примесей в расплаве и, следовательно, определяют качество конечной продукции У роботі досліджуються умови виникнення конвекції у розплавленої зоні при вирощуванні монокристалів кремнію методом безтигельної зонної плавки. Встановлено, що течії, які виникають у розплавленої зоні (термогравітаційні, відцентрові, термокапілярні та електродинамічні) впливають на розподіл домішок у розплаві і внаслідок цього визначають якість кінцевої продукції |
|
| Publisher |
Private company "Technology Center"
|
|
| Contributor |
—
— — |
|
| Date |
2012-09-06
|
|
| Type |
info:eu-repo/semantics/article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion — — — |
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Identifier |
http://journals.uran.ua/tarp/article/view/4729
10.15587/2312-8372.2012.4729 |
|
| Source |
Technology audit and production reserves; Vol 3, No 1(5) (2012): INTERNATIONAL SCIENTIFIC CONFERENCE. Fundamental research; 19-20
Technology audit and production reserves; Vol 3, No 1(5) (2012): МЕЖДУНАРОДНАЯ НАУЧНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ. Фундаментальные исследования; 19-20 Technology audit and production reserves; Vol 3, No 1(5) (2012): МІЖНАРОДНА НАУКОВА КОНФЕРЕНЦІЯ. Фундаментальні дослідження; 19-20 2312-8372 2226-3780 |
|
| Language |
ukr
|
|
| Relation |
http://journals.uran.ua/tarp/article/view/4729/4380
|
|
| Rights |
Copyright (c) 2016 Сергей Геннадьевич Егоров
Copyright (c) 2016 Технологический аудит и резервы производства Copyright (c) 2016 Технологічний аудит та резерви виробництва http://creativecommons.org/licenses/by/4.0 |
|