Since 2014
Optimization of technology of Si-затравок for the production of поликристаллического silicon
Technology Audit and Production Reserves
View Archive Info| Field | Value | |
| Title |
Optimization of technology of Si-затравок for the production of поликристаллического silicon
Оптимизация технологии Si-затравок для производства поликристаллического кремния Оптимізація технології Si-затравок для виробництва полікристлічного кремнію |
|
| Creator |
Реков, Юрий Васильевич; Zaporozhe state engineering academy PJC «Factory of semiconductors», Zaporozhe |
|
| Subject |
Silicon, admixtures, float zone melting, hydrogen renewal of silicon chloride
УДК 621.315.592 Кремний, примеси, бестигельная зонная плавка, водородное восстановление силанов УДК 621.315.592 Кремній, домішки, бестигельная зонна плавка, водневе відновлення силанів УДК 621.315.592 |
|
| Description |
In the articles described results of researches of technology of growing of затравок are from silicon (Si-growth) for the process of receipt of poly-silicon of electronic quality. Conformities to the law and thermal terms are studied which provide crystallizations of silicon of, high-quality descriptions of process of hydrogen renewal of chlorides of silicon. The method of implementation of express control of poly-silicon is offered on determination of maintenance of admixture of the coniferous forest
В статье описаны результаты исследований технологии выращивания кремниевых затравок (Si-затравок) для процесса получения поликристаллического кремния электронного качества. Изучены закономерности и тепловые условия кристаллизации кремния, обеспечивающие качественные характеристики процесса водородного восстановления хлоридов кремния. Предложенна методика выполнения экспрессного контроля поликристаллического кремния по определению содержания примеси бора У статті описані результати досліджень технології вирощування затравок з кремнію (Si-затравок) для процесу отримання полікристалічного кремнію електронної якості. Вивчені закономірності і теплові умови кристалізації кремнію, що забезпечують якісні характеристики процесу водневого відновлення хлоридів кремнію. Запропонована методика виконання експресного контролю полікристалічного кремнію за визначенням змісту домішки бору |
|
| Publisher |
Private company "Technology Center"
|
|
| Contributor |
—
— — |
|
| Date |
2012-09-06
|
|
| Type |
info:eu-repo/semantics/article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion — — — |
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Identifier |
http://journals.uran.ua/tarp/article/view/4727
10.15587/2312-8372.2012.4727 |
|
| Source |
Technology audit and production reserves; Vol 3, No 1(5) (2012): INTERNATIONAL SCIENTIFIC CONFERENCE. Fundamental research; 15-16
Technology audit and production reserves; Vol 3, No 1(5) (2012): МЕЖДУНАРОДНАЯ НАУЧНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ. Фундаментальные исследования; 15-16 Technology audit and production reserves; Vol 3, No 1(5) (2012): МІЖНАРОДНА НАУКОВА КОНФЕРЕНЦІЯ. Фундаментальні дослідження; 15-16 2312-8372 2226-3780 |
|
| Language |
ukr
|
|
| Relation |
http://journals.uran.ua/tarp/article/view/4727/4378
|
|
| Rights |
Copyright (c) 2016 Юрий Васильевич Реков
Copyright (c) 2016 Технологический аудит и резервы производства Copyright (c) 2016 Технологічний аудит та резерви виробництва http://creativecommons.org/licenses/by/4.0 |
|